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【說(shuō)明】
107JA型測(cè)量顯微鏡是一種小型二維數(shù)顯測(cè)量的計(jì)量?jī)x器,儀器主要采用透、反射照明方式,通過(guò)觀察和數(shù)顯系統(tǒng)對(duì)精密件的幾何量(長(zhǎng)度、角度)進(jìn)行觀察、分析、測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬、小型零件(如鐘表零件及其他精密件幾何參數(shù)的測(cè)量)。儀器可以連接CCD進(jìn)行影像測(cè)量。儀器體積小、重量輕、可廣泛應(yīng)用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究部門(mén)。
■儀器規(guī)格
1.測(cè)量范圍: X:150mm;Y:100mm
2.工作臺(tái)尺寸: 355×240mm (玻璃臺(tái)面尺寸:210×175mm)
3.數(shù)顯分辨率: 0.0005mm
4.儀器的回程誤差: 0.002mm
5.儀器測(cè)量準(zhǔn)確度: ≤(3+L/25)um(L為被測(cè)長(zhǎng)度)
6.儀器的質(zhì)量: 32.5kg
7.儀器外形尺寸: 420×550×600mm
8.輸入電壓: AC220/50Hz ±10%(工作照明電壓5V/LED)
9.光學(xué)基本參數(shù)
物鏡 |
目鏡 |
總放大倍數(shù) |
工作距離 (mm) |
視場(chǎng)直徑 (mm) |
||
放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑 |
焦距(mm) |
放大倍數(shù) |
焦距 (mm) |
|||
4×/0.1 |
28.8 |
10× |
25 |
40× |
17.50 |
3.40 |
10×/0.25 |
15.4 |
100× |
11.60 |
1.40 |
||
40×0.65 |
4.4 |
400× |
0.66 |
0.35 |
■照明光源
1.反射照明: 5V, 3W (LED)
2.透射照明: 5V, 3W (LED)
原舊站參數(shù)地址:
“用戶的需要就是我們的追求”
上海光學(xué)儀器廠(簡(jiǎn)稱:上光)坐落在上海楊浦區(qū),現(xiàn)屬上海光學(xué)儀器研究所管轄生產(chǎn)型制造公司。上海光學(xué)儀器研究所擔(dān)負(fù)光學(xué)儀器新產(chǎn)品研制和開(kāi)發(fā),曾為上海光學(xué)儀器廠研制開(kāi)發(fā)出各類光學(xué)儀器產(chǎn)品
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